某半导集成电路芯片制作业厂在晶圆代加工期间中,动用硅烷实现硅本质发芽,空气干洗塔造成高硫含量含硅废气。废气具备pH浮动大(2-11)、硅硫含量高的优缺点,传统艺术加工处理方式方法易显现硅垢堵塞了的问题。
生活污水物质及來源
废水处理关键含量为:
溶解度性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
氢氧化的钾/氢氧化的钠
:洗衣机清洗塔酸碱度洗衣机清洗液使用量
颗料硅
:纳米技术级SiO₂固体
痕量砷
:原材料其它杂物携带
治疗技艺工作流程
科学创新选用"两极与+膜滤出+多效蒸发心得"制作工艺:
一级通过成绩采和
:用CaO调pH至4-5,生成二维码硅酸钙沉淀出的,硅弄掉率60%。
五级与
:加Na₂CO₃将pH增强至9,进每一步沉淀出的剩余时间硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜程序
:0.02μm工业陶瓷膜过虑微米级硅粉末,通量维持在80LMH。
MVR挥发器
:提液高盐工业废水,析出出Na₂SO₄副產品,水工业废水处理率超90%。
结果是使用效果
总硅从1500mg/L降下来5mg/L下列
砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L
系统无积灰作业可超过2年
年收购 磷酸钠结晶体约800吨