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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导集成电路芯片制作业厂在晶圆代加工期间中,动用硅烷实现硅本质发芽,空气干洗塔造成高硫含量含硅废气。废气具备pH浮动大(2-11)、硅硫含量高的优缺点,传统艺术加工处理方式方法易显现硅垢堵塞了的问题。 生活污水物质及來源 废水处理关键含量为: 溶解度性硅酸盐 :SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 氢氧化的钾/氢氧化的钠 :洗衣机清洗塔酸碱度洗衣机清洗液使用量 颗料硅 :纳米技术级SiO₂固体 痕量砷 :原材料其它杂物携带 治疗技艺工作流程 科学创新选用"两极与+膜滤出+多效蒸发心得"制作工艺: 一级通过成绩采和 :用CaO调pH至4-5,生成二维码硅酸钙沉淀出的,硅弄掉率60%。 五级与 :加Na₂CO₃将pH增强至9,进每一步沉淀出的剩余时间硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜程序 :0.02μm工业陶瓷膜过虑微米级硅粉末,通量维持在80LMH。 MVR挥发器 :提液高盐工业废水,析出出Na₂SO₄副產品,水工业废水处理率超90%。 结果是使用效果 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下列 砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统无积灰作业可超过2年 年收购 磷酸钠结晶体约800吨

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