该厂为85英寸晶圆生产销售线配套设施的超去离子水系統，每顿饭带来含硅化工废水150吨。化工废水里虽无高价属，但硅量高易结渣，且电容率需符合18MΩ·cm才回收利用。原本有处工院艺时未满足了新实施的《光电行业水污染源物污染物标准单位》（GB39731-2020）尤其是污染物限制值。 废污水材质优点 最主要空气污染源 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗料硅（孔径0.1-1μm） 个性化追求 ：TOC<10μg/L，硼分子量<5μg/L 水体质量性状 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅类化合物价值形式繁琐 处理技艺程序流程 不断创新用到"梯级膜脱离+电去阳离子"结构工序： 微滤预治疗 ：1μm瓷质膜拦住大颗粒剂硅，通量达到80LMH 铁离子相互交换树脂材料 ：D201大孔光敏树脂会目的性粘附硅酸原子 2级RO操作系统 ：二、段环保再生资源回产出率60%，二、段选用高脱硼膜电子器件 EDI电去铝离子 ：电流量溶解度2A/m²，持继清理残渣化合物 太阳光的紫外线除臭 ：254nm紫外光线的用药量40mJ/cm² 科技短板 搭建使用阻硅剂（有机化学胺类黏结物），推迟膜被污染生长期3倍 EDI板块自主创新流道设计制作，硅的还原率加强至99.8% 在线平台硅浅析仪（校正範圍0.1-500μg/L）体现精准性的调整 作业成果 经其次方查重： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含水量从8μg/L高于0.3μg/L 机系统出售率从原40%提高至68% 膜撤换时期延迟至5年，年运转代价缩减35%